四甲基氫氧化銨25%水溶液（Tetramethylammonium Hydroxide 25% Solution，簡稱TMAH，CAS號75-59-2）是一種強有機堿，分子式C?H??NO（以無水計），分子量91.15，外觀為無色至淡黃色透明液體，密度約1.02 g/cm3（25℃），沸點110℃（分解），pH值≥13（25%水溶液）。其水溶液具有高導電性（電導率>50 mS/cm），與酸劇烈反應并釋放熱量，需避光保存于聚乙烯容器中（避免玻璃腐蝕）。工業級產品純度≥99.9%（離子色譜法），金屬雜質（如Na?、K?）含量≤1 ppm，廣泛應用于半導體和電子工業。

核心優勢與應用：

微電子蝕刻關鍵試劑

作為光刻膠顯影劑（0.1%-2.5%濃度），可精準去除曝光區光刻膠（分辨率達10 nm以下），優于NaOH等無機堿（無金屬離子污染）；

硅晶圓各向異性蝕刻（20%-25%溶液，蝕刻速率50-100 nm/min），表面粗糙度<0.5 nm（AFM測定）。

有機合成高效催化劑

堿性強度（pKb 4.2）高于氨水，促進酯交換反應（如生物柴油制備），轉化率提升15%-20%；

作為相轉移催化劑，加速SN?反應（如 Williamson合成醚）。

安全與環保特性

分解產物為三甲胺和甲醇（LD?? 180 mg/kg，大鼠口服），可通過活性炭吸附處理；

相比KOH/NaOH體系，無金屬殘留（符合SEMI C12標準）。

操作時需佩戴防濺護具，避免吸入蒸氣（TLV 2 ppm）。其在高端制造和綠色化學中的不可替代性，使其成為高附加值精細化學品代表。